常耀半导于上海,是一家专注于半导体光、热工艺设备研发与制造的高新技术企业。公司拥有占地22亩的标准化生产厂房,配备独立装配车间、调试洁净区及实验室,具备全自动烘箱、UV设备等非标半导体装备的定制化批量交付能力。其核心产品矩阵覆盖高温无尘无氧烘箱、全自动真空压力除泡烘箱、无氧隧道炉及立式炉管等系列机型,可满足先进封装中道线工艺对PI胶固化、退火烘烤及解键合等环节的严苛需求。以高温无尘无氧烘箱为例,该设备内尺寸为W600D600H600mm,温度范围可达RT~400℃,温度均匀度控制在±1.5%以内,配合进口HEPA过滤可实现Class100级洁净度,氧含量维持在≤50ppm水平,升温及水冷降温速率均为1~5℃/min,并支持选配六点温度检测、氧含量分析仪及SECS-GEM系统,以适应不同制程的精确控制要求。
主营产品:真空烘箱,无尘无氧烘箱,炉管,UV解键合撕膜一体机,烘箱,先进封装,精密烘箱,中道线,立式炉管,全自动无尘无氧烘箱
服务区域:上海市,市辖区
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